2021 년 1 월, Sumitomo Electric Industries, Ltd.는 Silicon Wafers에서 회로가 형성되는 반도체 제조의 프론트 엔드 프로세스를위한 고등학생 온도 분포 제어 토토 바카라 사이트을 개발했습니다. 이 토토 바카라 사이트은 히터와 전원 컨트롤러로 구성됩니다.™싱글 웨이퍼 반도체 필름 증착 토토 바카라 사이트의 특징 인 고속 증착 처리를 보장하면서 증착 품질을 높였습니다..


반도체 제품은 전기 가정 기기 및 소셜 인프라를 포함하여 우리 사회에서 널리 사용됩니다. 최근에는 5G 차세대 통신 표준, 인공 지능 (AI) 지원 자율 주행 기술 및 데이터 센터를위한 대용량 저장에도 사용되었습니다.


주로 열 화학 증기 증착 (CVD)을위한 두 가지 유형의 반도체 증착 토토 바카라 사이트이 있으며, 이는 고급 화학 박막 : 배치 증착 토토 바카라 사이트을 형성하는 배치 증착 토토 바카라 사이트이 있으며, 이는 동일한 시간에 25 ~ 100 개의 웨이퍼를 처리 할 수 ​​있고 동일한 균질 한 필름 두께, 그리고 하나의 웨이퍼 묘사를 달성 할 수 있습니다. 높은 생산성을 달성합니다.

반도체 장치 제조업체는 다른 단계에 대한 배치 증착 토토 바카라 사이트과 단일 웨이퍼 증착 토토 바카라 사이트의 특성을 활용합니다. 이전에, 배치 증착 토토 바카라 사이트은 온도 균일 성의 관점에서 성능에 이점이 있었다.

그러나 고속 처리가 가능한 단일 웨이퍼 증착 시스템은 최근 몇 년 동안 반도체 프로세스의 복잡성이 증가함에 따라 주목을 끌었습니다. 또한, 단일 웨이퍼 증착 시스템을 사용하여 고품질 토토 바카라 사이트 달성하기위한 수요가 증가하고있다.

기존의 단일 웨이퍼 증착 히터에서, 온도를 제어하기 위해 구역을 집중시켰다. 그러나 토토 바카라 사이트의 다양한 환경 적 요인에 기인 한 원주 방향으로 약간의 온도 분포 불균형에 대처하는 데 제한이있었습니다.™고 진수 온도 분포 제어 토토 바카라 사이트이 개발되었습니다.

sumitune™6 개 영역 (sumitune 히터)이있는 히터와 6 개의 영역 (Sumitune 컨트롤러)의 효율적이고 정확한 전력 제어를 가능하게하는 컨트롤러로 구성됩니다. 기능은 다음과 같습니다.

● sumitune의 특징™


(1) 다양한 온도 분포 제어 패턴을 달성 할 수 있습니다

sumitune™전체 웨이퍼 표면에서 ± 0.5 ° C 수준 (500 ° C)의 온도 분포 균일 성을 달성 할 수 있습니다. 다양한 온도 분포 패턴을 활성화하여 다양한 온도에 민감한 증착 공정에도 사용할 수 있습니다.

(2)1 와트 레벨에서 각각의 영역의 전력 조정에 의한 증착 분포의 미세 조정

sumitune™기존 히터에서는 불가능한 1 와트 레벨에서 각 영역의 전력을 조정할 수 있습니다. 따라서 토토 바카라 사이트과 웨이퍼의 비대칭 요인에 기인 한 불균일 증착 분포를 미세 조정할 수 있습니다..

(3) 개발 기간 및 비용 절감

sumitune™다양한 환경에서 튜닝을 가능하게하여 개발에 필요한 시간을 크게 줄이고 웨이퍼를 사용한 시행 착오에 대한 평가 수를 줄일 수 있습니다. 이것은 고객이 개발 비용을 줄이는 데 도움이됩니다.

Sumitune의 위의 기능™챔버 환경에 따라 고온 균일 성을 달성하고, 생산성 및 증착 필름 두께 균일 성을 모두 달성하고, 기존의 배치 증착 열 처리 토토 바카라 사이트을 사용하여 불가능했으며 회로 배선의 소형화 및 다층 배열의 필요성을 충족시킵니다.

다중 반도체 제조 토토 바카라 사이트 제조업체 및 반도체 장치 제조업체는 Sumitune 평가를 시작하기 시작한 평가를 시작했습니다™대량 생산 과정에 대한 입양.

Sumitomo Electric은 고유 한 재료 및 프로세스 기술 및 열 시뮬레이션 기술을 활용하고 차세대 세부 분야 기술에 기여할 수있는 최적의 솔루션을 제안함으로써 고 부가가치 제품을 개발하기 위해 최선을 다하고 있습니다.

● 참조

• Sumitomo 전기 기술 검토（2021 년 4 월 No.92）